Cedida por el Instituto de Microelectrónica de Barcelona. Centro Nacional de Microelectrónica. Barcelona.

La fotolitografía (de lithos=piedra y graphos=dibujo o escritura, o sea, dibujar sobre piedra) es uno de los procesos utilizados para plasmar los patrones de los circuitos integrados en las obleas de silicio.

Con técnicas similares al revelado fotográfico se transfiere un patrón que marca el diseño de los diferentes elementos desde una fotomáscara a la superficie de la oblea, que se emplea como sustrato litográfico.

Máscara de fabricación de diodos PIN en sustratos de Carburo de Silicio (SIC). Definición de los contactos metálicos.